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    電子氣體
    
                                                  
                                                  
    
	電子氣體是指應用于電子半導體工業的氣體。作為集成電路、液晶面板、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業中不可缺少的基礎性原材料之一，被稱為半導體材料的“糧食”和“源，電子特氣是電子工業的關鍵原料，屬于特種氣體的重要分支。電子半導體領域是我國特種氣體重要細分應用領域之一，國內特種氣體在電子半導體領域的銷售額已超過特種氣體年銷售額的40%。
    

    
電子氣體是工業氣體中附加值較高的品種，與傳統工業氣體的區別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學反應)，目前，應用于半導體產業的各個環節的特種氣體有110余種，常用的有20-30種。2019年全球電子氣體市場規模約為462億元，預計未來三年增速約為7%；我國電子氣體市場規模約為102億元，進口替代趨勢明顯，逐步向高端演進，預計未來三年增速將超過15%。 
    

    
目前電子氣體的國產化替代趨勢非常明顯。中國制造2025，中國制造業轉型升級速度加快！在政策大力推動下，國產芯片發展加速，芯片產業有很大的國產替代空間，中國芯片自給率要在2025年達到70%。 
    

    
粵佳氣體集團打造大灣區最大的先進電子材料（電子氣體及化學品）平臺型供應中心，規范管理，長遠發展！立足大灣區，服務中國市場，放眼全球市場！ 

     
    
                                        
    
                              
    
                    
    
                    
        
        
      
    
    
    
  
    
  

  
    
    
    
      
    
        
    
          
          
        
    
      
    
      
        
    
      
    
    
  
    
  


   
 
 








 

    
 
    
 	 
 
    
 

    









  












  
    
    
    
      


      
    

        
    
	 
	
    
		 												
	
    
	
    
		
			
    
				
					電子氣體 
				
			
    
			
    
				
					電子特種氣體
    
				    		
				
					
    
						化學氣相沉積（CVD） 
					
    
				    		
				
					
    
						NH3、He、N2O、TEOS（C8H20O4Si）、TEB（C6H15BO3）、TEPO（ C6H15O4P）、PH3、ClF3、SiH2Cl2、NF3、SiH4、WF6、C2F6、TiCl4、CH4 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						離子注入 
					
    
				    		
				
					
    
						AsF5、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、Xe 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						光刻膠印刷 
					
    
				    		
				
					
    
						F2、He、Kr、Ne 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						擴散 
					
    
				    		
				
					
    
						H2、Cl3OP 
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						刻蝕 
					
    
				    		
				
					
    
						He、CF4、C4F8、C5F8、CHF3、CH2F2、Cl2、HBr、BCl3、SF6、CO  
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						摻雜 
					
    
				    		
				
					
    
						BCl3、B2H6、BF3、PH3、AsH3  
					
    
				    		
			
    
			
    
				
					
    
						電子大宗氣體 
					
    
				    		
				
					
    
						環境氣、保護氣、載氣 
					
    
				    		
				
					
    
						N2、O2、Ar、CO2  
					
    
				    		
			
    
		    
	
    

    
 

    
        

      
    




    
    

    

  
    
  









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