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電子氣體

電子氣體是指應(yīng)用于電子半導(dǎo)體工業(yè)的氣體。作為集成電路、液晶面板、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)中不可缺少的基礎(chǔ)性原材料之一,被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源,電子特氣是電子工業(yè)的關(guān)鍵原料,屬于特種氣體的重要分支。電子半導(dǎo)體領(lǐng)域是我國(guó)特種氣體重要細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域之一,國(guó)內(nèi)特種氣體在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域的銷售額已超過特種氣體年銷售額的40%。

電子氣體是工業(yè)氣體中附加值較高的品種,與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學(xué)反應(yīng)),目前,應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各個(gè)環(huán)節(jié)的特種氣體有110余種,常用的有20-30種。2019年全球電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為462億元,預(yù)計(jì)未來三年增速約為7%;我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為102億元,進(jìn)口替代趨勢(shì)明顯,逐步向高端演進(jìn),預(yù)計(jì)未來三年增速將超過15%。

目前電子氣體的國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)非常明顯。中國(guó)制造2025,中國(guó)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)速度加快!在政策大力推動(dòng)下,國(guó)產(chǎn)芯片發(fā)展加速,芯片產(chǎn)業(yè)有很大的國(guó)產(chǎn)替代空間,中國(guó)芯片自給率要在2025年達(dá)到70%。

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電子氣體
電子特種氣體

化學(xué)氣相沉積(CVD)

NH3、He、N2O、TEOS(C8H20O4Si)、TEB(C6H15BO3)、TEPO( C6H15O4P)、PH3、ClF3、SiH2Cl2、NF3、SiH4、WF6、C2F6、TiCl4、CH4

離子注入

AsF5、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、Xe

光刻膠印刷

F2、He、Kr、Ne

擴(kuò)散

H2、Cl3OP

刻蝕

He、CF4、C4F8、C5F8、CHF3、CH2F2、Cl2、HBr、BCl3、SF6、CO

摻雜

BCl3、B2H6、BF3、PH3、AsH3

電子大宗氣體

環(huán)境氣、保護(hù)氣、載氣

N2、O2、Ar、CO2


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